dc.contributor.author | Navickas, Romualdas | |
dc.date.accessioned | 2023-09-18T08:48:13Z | |
dc.date.available | 2023-09-18T08:48:13Z | |
dc.date.issued | 2003 | |
dc.identifier.other | (BIS)VGT02-000005368 | |
dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/107431 | |
dc.format.extent | 115 p. | |
dc.format.medium | tekstas / txt | |
dc.language.iso | lit | |
dc.title | Mikrostruktūrų formavimosi procesai integrinių grandynų gamybos technologijose | |
dc.type | Habilitacinis darbas / Habilitation work | |
dcterms.accessRights | Tekstas vienoje lapo pusėje | |
dc.type.pubtype | ETD_HBL - Habilitacinis darbas / Habilitation thesis | |
dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
dc.subject.lt | Integrinės schemos | |
dc.subject.lt | Vilniaus Gedimino technikos universitetas Disertacijos | |
dc.publisher.name | [s.n.] | |
dc.publisher.city | Vilnius | |
dc.identifier.elaba | 14393772 | |