Mechatroninės dengiamojo sluoksnio dengimo mašinos VCM300 tyrimai

Abstract

Baigiamajame magistro darbe nagrinėjamas dengiamojo sluoksnio dengimo mašinų panaudojimas, jų technologinis procesas, gaminamų pusgaminių įvairovė. Išnagrinėti dengiamojo sluoksnio storio matavimo būdai bei kiekvieno būdo matavimo principas. Tiriamojoje dalyje pateiktos dengiamojo sluoksnio storio priklausomybės nuo keičiamų dengimo mašinos mechaninių parametrų. Išanalizavus visas priklausomybes bei nustačius jų įtaką dengiamojo sluoksnio storiui, pateikiamos baigiamojo darbo išvados ir pasiūlymai. Darbą sudaro 6 dalys: įvadas; dengiamojo sluoksnio dengimo mašinų panaudojimas; dengiamojo sluoksnio storio matavimo būdai; dengiamojo sluoksnio storio priklausomybės tyrimai panaudojus optinį interferencinį storio matavimo būdą; išvados ir pasiūlymai; literatūros sąrašas.

It was studied coating machine using field, its technological process and the variety of the semi manufactures, items quality control methods. It was discussed coating layer thickness measurement methods with its measurement principle to study the dependence of machine mechanical parameters. Analyzed the machine mechanical parameter’s dependence on item’s coating layer thickness there were given masterwork conclusions and suggestions. Master work consists of 6 parts: introduction; coating machine using field; coating layer thickness measurement methods; the machine mechanical parameter’s dependence on item’s coating layer thickness using one of the thickness measurement methods; conclusions and suggestions; the list of literature.