Precizinių linijinių skalių originalų rastrų formavimo tikslumo tyrimas

Abstract

Baigiamajame magistro darbe apžvelgiamos linijinių poslinkių matavimo sistemų jų teikiamos informacijos kiekio požiūriu bei jų skalių ypatumai. Nagrinėjami skalių, naudojamų matavimo sistemose, teikiančiose informaciją ne tik apie pagrindinį judesį, bet ir dvi tiesaus judesio paklaidas plokštumoje, funkciniai ir tikslumo parametrai. Tokios skalės vadinamos 2D skalėmis. Analizuojami tokių linijinių skalių formavimo metodai, jų tikslumas. Pateikiama šio proceso tikslumo eksperimentinių tyrimų metodika, rezultatai. Daromos išvados apie atskirų skalių formavimo metodų efektyvumą ir perspektyvumą. Atliktas dalijimo mašinos, skirtos skalių originalus gaminti ištisiniu fotolitografiniu metodu, modernizavimas ir tyrimas.

Final master work reviews the linear displacement measuring systems, the information they provide in terms of quantity and characteristics of their scales. Issue scales used in measuring systems, providing information not only on the main motion, but two straight errors plane motion, the functional accuracy and performance. These scales are called 2D scales. Analyzed the formation of such linear scaling methods and their accuracy. To this process, the accuracy of experimental research methodology, results. Draw conclusions about the methods of forming the individual scales of efficiency and viability. Complete splitting machines for the original scales to produce a continuous fotolitografiniu method of upgrading and testing.