Saulės elementų neatspindinčiųjų silicio nitrido dangų tyrimas

Abstract

Baigiamajame magistro darbe nagrinėjamas saulės elemento veikimo principas, jo efektyvumą lemiantys veiksniai, neatspindinčiųjų dangų gamybai naudojamos medžiagos. Išnagrinėtas silicio nitrido panaudojimas saulės elementų gamyboje, aptartos pagrindinės šios medžiagos fizikinės, mechaninės bei cheminės savybės. Taip pat aprašyti neatspindinčiųjų dangų gaminimo būdai. Eksperimentiškai atliktos plazmocheminiu garų nusodinimo metodu (PECVD) užaugintų skirtingų storių silicio nitrido neatspindinčiųjų dangų spektrinės analizės bei šviesos atspindžio ir šviesos pralaidumo koeficientų priklausomybės nuo krintančios šviesos bangos ilgio ir silicio nitrido neatspindinčiosios dangos storio tyrimai. Taip pat tirta silicio nitrido dangos UV spindulių sugertis. Išnagrinėjus teorines ir eksperimentines silicio nitrido neatpindinčiosios dangos savybes, pateikiamos baigiamojo darbo išvados. Darbą sudaro 3 dalys: įvadas, mokslo darbų analizė, eksperimento metodika, eksperimentai ir jų rezultatų įvertinimas, išvados, literatūros sąrašas. Darbo apimtis – 55 p. teksto be priedų, 26 pav., 7 lent., 33 bibliografiniai šaltiniai. Atskirai pridedami darbo priedai.

In the final master work operating principles of the solar cell, efficiency factors, materials for anti-reflecting coating, the use of silicon nitride (a-SiNx:H) for developement of anti-reflection coatings are examined. Moreover, the main physical, mechanical and chemical properties of silicon nitride and the anti-reflective coatings manufacturing techniques are discussed. Different thicknesses of silicon nitride anti-reflective coatings are experimentally performed, developed by plazma chemical vapor deposition (PECVD), spectral analysis. After spectral analysis light reflectance and light transmittance dependence on the incident light wavelenght and silicon nitride anti-reflective coating thickness test are carried out. Furthermore, silicon nitride coatin UV absorbtion is studied. After the analysis of theoretical and experimental aspects of silicon nitride anti-reflective coating properties, conclusions are developed. Structure: introduction, the analysis of scientific works, experimental technique, experiment and evaluation of rezults, conclusions and references. Thesis consist of 55 pages of text without appendixes, 26 pictures, 7 tables, 33 bibliographical entries. Appendixes are included seperately.