Skenuojančiojo eletrocheminio mikroskopo pozicionavimo tyrimas

Abstract

Baigiamajame magistro darbe tiriami skenuojančiojo elektrocheminio mikroskopo pozicionavimo metodai. Apžvelgiama esama literatūra ir parenkami priimtiniausi pozicionavimo metodai. Sudaroma teorinių tyrimų metodologija, sistemos valdymo algoritmai. Aprašoma sistema „Simulink“ aplinkoje naudojant esamą matematinį SECM neigiamojo grįžtamojo ryšio sistemos atsako modelį. Atliekami matavimai naudojant skirtingas pozicionavimo sistemas ir jų rezultatai yra palyginami. Remiantis tyrimų rezultatais formuluojamos išvados ir pasiūlymai. Nustatyta, kad abu, pastovaus aukščio ir šokinėjantis pertraukiamo kontakto arba HIC metodai yra tinkami ir gaunamas matavimo rezultatas yra tikslesnis, nei naudojant, esamą pastovaus aukščio, pozicionavimo metodą.

The final master's thesis deals with scanning electrochemical microscope ultramicroelectrode positioning method. After review and analysis of literature sources, best methods are selected for research. Control algorithms are created and the system is programed in “Simulink” using existing mathematical SECM negative feedback model. Measurements are made of known object using said model and results are compared. Based on results conclusions and recommendations are made. Results show that both, constant distance and hopping intermittent contact or HIC methods provided better results, than constant height positioning method currently in use.