| dc.contributor.author | Malinauskas, Romualdas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T16:08:49Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T16:08:49Z | |
| dc.date.issued | 1994 | |
| dc.identifier.issn | 0204-2134 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/111781 | |
| dc.description.abstract | Pasiūlytas optiškai indukuotos moduliacinės absorbcijos metodas gilių priemaišų energetinio spektro sudėčiai ir jų koncentracijai plonuose puslaidininkių sluoksniuose kontroliuoti. Metodas patikrintas tiriant siera inplantuotus GaAs plonus sluoksnius. Pasiūlyta aparatūros struktūra, leidžianti atlikti tokių sluoksnių gamybos technologijos kontrolę. | lit |
| dc.description.abstract | Предложен метод оптически индуцированной модуляции абсорбции для контроля энергетического спектра и концентрации глубоких уровней в тонких слоях полупроводников. Методика проверена исследуя тонкие легированные серой имплантационные слои GаАs. Предлаается аппаратура для технологического контроля слоев. | rus |
| dc.description.abstract | It is offered the method of the light induced modulation of absorbtion for control of energetical spectrum and concentration of deep level in thin layers of semiconductors. The method was verified by research of the thin layers of GaAs implanted by sulphur. The equipment of control of such layers is offered. | eng |
| dc.format.extent | p. 165-169 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | lit | |
| dc.title | Gilių priemaišinių lygių plonuose puslaidininkių sluoksniuose spektroskopija | |
| dc.title.alternative | Спектроскопия глубоких примесных уровней в тонких слоях полупроводников | |
| dc.title.alternative | Spectroscopy of deep levels in the thin layers of semiconductors | |
| dc.type | Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed source | |
| dcterms.accessRights | Mokslo darbus "Radioelektronika" iki 1992 m. leido Kauno technologijos universitetas (Kauno politechnikos institutas). Nuo 1992 m. leidžia Kauno technologijos ir Vilniaus technikos universitetai. | |
| dcterms.references | 4 | |
| dc.type.pubtype | S4 - Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dcterms.sourcetitle | Radioelektronika = Radioelectronics = Радиоэлектроника : mokslo darbai | |
| dc.description.issue | Nr. 3 | |
| dc.description.volume | t. 30 | |
| dc.publisher.name | Technika | |
| dc.publisher.city | Vilnius | |
| dc.identifier.elaba | 108367672 | |
