Analysis of geometrical accuracy of long grating scale calibration comparator

Abstract

Line detection errors in linear scale comparators occur in the cases where Abbe principle is ignored. These errors consist of random and systematic components and can be minimized by increasing the accuracy of component design and production, as well as by compensating geometrical deviations. Design methods intended to increase the accuracy of the precision movement of comparator parts are described here. Experimental error investigation results are presented. Computational and active methods of geometrical errors compensation are established and described. Investigation results are arranged and efficiency of the examined methods is compared.

Linijinių skalių komparatoriuose linijos padėties nustatymo paklaidų atsiranda, kai neatsižvelgiama į Abės principą. Šias paklaidas sudaro atsitiktinės ir sistemingosios dedamosios. Jos gali būti sumažintos didinant elementų projektinį ir technologinį tikslumą, taip pat kompensuojant geometrines paklaidas. Aprašyti projektiniai komparatoriaus elementų precizinio judesio tikslumo padidinimo metodai. Pateikti paklaidų eksperimentinio tyrimo rezultatai. Sudaryti ir aprašyti geometrinių paklaidų skaičiuojamosios ir aktyviosios kompensacijos metodai. Išdėstyti tyrimo rezultatai ir palygintas bandytų metodų efektyvumas.