Rodyti trumpą aprašą

dc.contributor.authorNavickas, Romualdas
dc.date.accessioned2023-09-18T17:17:49Z
dc.date.available2023-09-18T17:17:49Z
dc.date.issued2008
dc.identifier.issn1392-1207
dc.identifier.other(BIS)VGT02-000017788
dc.identifier.urihttps://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/121624
dc.description.abstractWe have developed 3-D model of evolution of the nano- and microstructures geometry in lateral etching processes. The modeling results for the different initial geometry structures are presented. The experimental inves-tigations of the evolution of microstructures in lateral etch-ing processes of amorphous and polycrystalline films were performed and the coincidence of modeling results and the experimental research were received. The results showed, that concrete nanostructures can be defined by the topo-logical set of randomly generated points with border condi-tions set up to satisfy real physical material properties. The model results are obtained for the infinite selectiveness of etching, although the model allows to model mask etching simultaneous to the film etching. This allows analyzing and designing new self-alignment and self-formation tech-nologies semiconductor devices, integrated circuits and MEMS/NEMS. Also the problem of practical representa-tion for the material of concrete nanostructure with finite set of randomly distributed points was analyzed and some model results were obtained. Results show the possibility of model application in new device manufacturing proc-esses.eng
dc.description.abstractSudarytas trimatis nano ir mikro struktūrų geometrijos evoliucijos modelis paviršinių sluoksnių ėsdinimo procesams. Pateikti modeliavimo rezultatai skirtingos pradinės geometrijos struktūroms. Atlikti eksperimentiniai mikrostruktūros evoliucijos paviršinio sluoksnio ėsdinimo proceso metu tyrimai amorfiniams ir polikristaliniams ploniems sluoksniams. Modeliavimo bei eksperimentinio tyrimo rezultatų palyginimas parodė, kad betono nano struktūras galima identifikuoti naudojant atsitiktinių taškų rinkinio topologiją, parinkus kraštines sąlygas, atitinkančias realios medžiagos fizines charakteristikas. Gauti modeliavimo rezultatai įvairiems ėsdinimo atvejams, nors modelis gali būti naudojamas dangų ėsdinimui bei plono paviršinio sluoksnio ėsdinimui modeliuoti. Tai leidžia tirti ir projektuoti naujus savaiminio sutapdinimo ir savaiminio susiformavimo puslaidininkinius įtaisus, integrines schemas bei MEMS/NEMS. Taip pat ištirtas praktinio pritaikymo problema betono nano struktūros medžiagoms esant baigtiniam atsitiktinio pasiskirstymo taškų rinkiniui, gauti modeliavimo rezultatai. Rezultatai parodė, kad modelis gali būti pritaikytas naujų įrenginių kūrimo procese.lit
dc.format.extentp. 54-58
dc.format.mediumtekstas / txt
dc.language.isoeng
dc.relation.isreferencedbyVINITI
dc.relation.isreferencedbyScopus
dc.relation.isreferencedbyINSPEC
dc.relation.isreferencedbyFLUIDEX
dc.relation.isreferencedbyCompendex
dc.relation.isreferencedbyScience Citation Index Expanded (Web of Science)
dc.source.urihttps://mechanika.ktu.lt/index.php/Mech/article/view/15159
dc.title3-D modeling of nanostructures evolution in lateral etching processes
dc.title.alternativeTrimatis nanostruktūrų evoliucijos modeliavimas šoninio ėsdinimo procesuose
dc.typeStraipsnis Web of Science DB / Article in Web of Science DB
dcterms.references10
dc.type.pubtypeS1 - Straipsnis Web of Science DB / Web of Science DB article
dc.contributor.institutionVilniaus Gedimino technikos universitetas
dc.contributor.facultyElektronikos fakultetas / Faculty of Electronics
dc.subject.researchfieldT 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering
dcterms.sourcetitleMechanika
dc.description.issueNr. 5(73)
dc.publisher.nameTechnologija
dc.publisher.cityKaunas
dc.identifier.doi000261079000009
dc.identifier.elaba3844485


Šio įrašo failai

FailaiDydisFormatasPeržiūra

Su šiuo įrašu susijusių failų nėra.

Šis įrašas yra šioje (-se) kolekcijoje (-ose)

Rodyti trumpą aprašą