Temperature fields, exchanges and deformations of a precise length comparator microscope

Abstract

In this article the influence of internal thermal sources of line position detection microscope onto scale error calibration accuracy is analyzed. Short description of the microscope temperature fields and thermal body de-formation modelling methodology is proposed, eva-luating internal heat sources of microscope. The modelling results graphs showing the influence heat sources onto microscope temperature field. The resulting temperature deformations are given. Draw conclusions about the processes in ques-tion affect the scale calibration accuracy.

Straipsnyje nagrinėjama brūkšnių padėčiai nustatyti skirta mikroskopo vidinių šilumos šaltinių įtaka skalių paklaidų kalibravimo tikslumui. Trumpai pateikiama mikroskopo temperatūrinių laukų ir deformacijų modeliavimo metodika, įvertinanti vidinius mikroskopų šilumos šaltinius. Grafiškai iliustruojami modeliavimo rezultatai, rodantys šilumos šaltinių poveikį mikroskopų temperatūriniams laukams, bei dėl to atsirandančios temperatūrinės deformacijos. Pateikiamos išvados apie nagrinėjamų procesų įtaką skalių kalibravimo tikslumui.