| dc.contributor.author | Marcinkevičius, Albinas Jonas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T17:27:04Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T17:27:04Z | |
| dc.date.issued | 1999 | |
| dc.identifier.other | (BIS)VGT02-000018827 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/123248 | |
| dc.description.abstract | Knygoje pateiktos žinios apie silicio puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos technologinių procesų fizikinius principus ir parametrų skaičiavimą. Išnagrinėti silicio monokristalų auginimo, plokštelių paruošimo, epitaksinių puslaidininkinių sluoksnių auginimo, legiravimo, jonų implantacijos, paviršiaus dengimo dielektriku, projekcinės fotolitografijos, rentgeno litografijos, elektronų litografijos, jonų litografijos ir plazminio ėsdinimo procesai, taip pat jų taikymas integrinių grandynų gamyboje. Leidinys skirtas elektronikos pagrindinių studijų studentams, magistrantams ir specialistams, besidomintiems puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos technologija. | lit |
| dc.format.extent | 157 p. | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | lit | |
| dc.title | Integrinių grandynų technologiniai procesai | |
| dc.type | Mokomoji knyga / Teaching book | |
| dcterms.accessRights | Recenzavo: prof. habil. dr. R. Kirvaitis, dr. doc. R. Navickas | |
| dcterms.references | 15 | |
| dc.type.pubtype | K2b - Mokomoji knyga / Educational book | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dc.publisher.name | Technika | |
| dc.publisher.city | Vilnius | |
| dc.identifier.elaba | 3865339 | |
