| dc.contributor.author | Navickas, Romualdas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T18:54:40Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T18:54:40Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.issn | 1811-4512 | |
| dc.identifier.other | (BIS)VGT02-000005508 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/133301 | |
| dc.format.extent | p. 149-154 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | rus | |
| dc.title | Основные процессы самоформирования в технологиях изготовления быстродействующих полупроводниковых приборов и интегральных схем | |
| dc.type | Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed source | |
| dc.type.pubtype | S4 - Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dcterms.sourcetitle | Электроника и связь : научно-технический журнал | |
| dc.description.issue | №. 18 | |
| dc.publisher.name | КПI | |
| dc.publisher.city | Киев | |
| dc.identifier.elaba | 3627009 | |
