Kalibratoriaus geometrinio tikslumo įtakos rastrų formavimui ir kalibravimui lazerinėmis technologijomis tyrimai

Abstract

Linijinių skalių kalibravimo įrenginiuose vienu iš pagrindinių linijos padėties kalibravimo paklaidos sandų yra geometrinės komparatoriaus paklaidos. t.y. paklaidos, susijusios su karietėlės judesio nuokrypiais – jos mažais kampiniais svyravimais apie pagrindinio judesio ašį ir jai statmenas ašis bei linijiniai poslinkiai išilgai šių statmenų ašių. Dėl Abbe principo nesilaikymo, reikšmingiausiais yra karietėlės kampiniai svyravimai apie minėtąsias statmenas ašis.

One of the main components of a line position calibration error in linear scale calibrators are geometrical errors of the comparator, i.e. the errors associated with the carriage’s movement deviations – its slight angular fluctuations about the main movement axis and the axes perpendicular thereto, and the linear displacements along those perpendicular axes. The most important are the carriage’s angular fluctuations about the abovementioned perpendicular axes due to nonobservance of Abbe principle.