Judesio greičio netolygumo įtakos fotorezisto dengimo įrenginiui tyrimas

Abstract

Baigiamajame magistro darbe atlikta vieno iš rastrinių liniuočių gamybos procesų – fotorezisto padengimo ant paruošos, metu atsirandančio fotorezistą dengiančio įrenginio judėjimo horizontalia kryptimi judėjimo netolygumo įtakos galutiniam gaminiui eksperimentiniai tyrimai. Atlikti trys eksperimentiniai tyrimai, kurių metu rasta korealiacija tarp padengtos fotorezisto plevelės storio netolygumo ir padengimo metu esančio judesio greičio netolygumo. Pateikti ir apžvelgti tyrimo rezultatai. Darbą sudaro šios dalys: įvadas, problemos analizė ir formulavimas, fotorezisto padengimo įrenginio judesio netolygumo eksperimentinis tyrimas, padengto ir atkepto fotorezisto storio netolygumo eksperimentinis tyrimas, galutinio gaminio paklaidumo svyravimų eksperimentinis tyrimas, išvados, žodynas, literatūros sąrašas. Darbo apimtis – 51 p. teksto be priedų, 32 iliustr., 13 bibliografinių šaltinių.

Final thesis has a research on the quality of photoresist coating on raster scales, while the head of a coating device is moving horizontaly during the coating process. There were three experimental researches conducted, which helped establish a corealation between the thickness of photoresist film and photoresist application device movement speed fluctuences. The results and conclusions were presented. Thesis structure: introduction, formulation and analysis of the problem, movement speed fluctuation of photoresist coating device experimental research, thickness fluctuation of coated and baked photoresist film experimental research, quality of bandwidth fluctuation of a final product experimental research, conclusions, references. Thesis consist of: 51 p. text without appendixes, 32 pictures, 15 tables, 13 bibliographical entries.