Research of a flexure based mikropositiong stages

Abstract

There are several main goals such as analyses scientific literature about micropositioning stages, application of the flexure mechanisms in the field of micropositioning, statics and dynamical modeling of a flexure based micropositioning stages with mechanical and piezoelectrical actuators, finite element analyses of a proposed micropositioning stages and experiments.

Darbe sprendžiami keli pagrindiniai uždaviniai: atlikta mikropozicionavimo sistemų mokslinės literatūros analizė, mikropozicionavimo sistemų, veikiančių lanksčių jungčių principu su mechaniniais ir pjezoelektriniais vykdikliais, dinaminis modeliavimas, skaitinis sukurtų mikropozicionavimo sistemų tyrimas baigtinių elementų metodu bei šių sistemų eksperimentiniai tyrimai.