| dc.contributor.author | Štaras, Stanislovas | |
| dc.contributor.author | Kirvaitis, Raimundas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T16:36:17Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T16:36:17Z | |
| dc.date.issued | 1991 | |
| dc.identifier.other | (BIS)VGT01-000005239 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/115361 | |
| dc.description.abstract | Leidinys skirtas radioelektronikos specialybės studentams. Pirmojoje leidinio dalyje (I - 7 skyriuose) nagrinėjami puslaidininkių fizikos klausimai, antrojoje (8 .. 12 skyriuose) - puslaidininkiniai prietaisai. Šioje - trečiojoje – dalyje, siekiant geriau pasirengti puslaidininkinių integralinių mikroschemų gamybos procesų nagrinėjimui, pateikiami fizikinės chemijos pagrindai. | lit |
| dc.format.extent | 83 p. | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | lit | |
| dc.title | Fizikiniai mikroelektronikos pagrindai. III dalis: Fizinės chemijos pagrindai | |
| dc.type | Metodinė priemonė / Methodical handbook | |
| dcterms.accessRights | Leidinį recenzavo technikos mokslų kandidatas A. Aulas ir docentas R. Pocius | |
| dcterms.references | 9 | |
| dc.type.pubtype | K2c - Metodinė priemonė / Methodical handbook | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dc.subject.researchfield | T 005 - Chemijos inžinerija / Chemical engineering | |
| dc.publisher.name | Technika | |
| dc.publisher.city | Vilnius | |
| dc.identifier.elaba | 157976926 | |
