Fizikiniai mikroelektronikos pagrindai. III dalis: Fizinės chemijos pagrindai
Abstract
Leidinys skirtas radioelektronikos specialybės studentams. Pirmojoje leidinio dalyje (I - 7 skyriuose) nagrinėjami puslaidininkių fizikos klausimai, antrojoje (8 .. 12 skyriuose) - puslaidininkiniai prietaisai. Šioje - trečiojoje – dalyje, siekiant geriau pasirengti puslaidininkinių integralinių mikroschemų gamybos procesų nagrinėjimui, pateikiami fizikinės chemijos pagrindai.