Fizikiniai mikroelektronikos pagrindai. IV dalis: Puslaidininkinės integralinės mikroschemos
Abstract
Leidinys skirtas elektronikos fakulteto studentams, pirmojoje leidinio dalyje (1-7 skyriuose) buvo nagrinėjami puslaidininkių fizikos klausimai, antrojoje (8- 12 skyriuose) - puslaidininkiniai prietaisai, trečiojoje (13-16 skyriuose) - fizikinės chemijos pagrindai. Šioje - ketvirtojoje - dalyje nagrinėjami puslaidininkinių integralinių mikroschemų gamybos procesai ir elementai.