| dc.contributor.author | Navickas, Romualdas | |
| dc.contributor.author | Čiulada, Rimas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T18:54:07Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T18:54:07Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.issn | 1392-1215 | |
| dc.identifier.other | (BIS)VGT02-000005227 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/133161 | |
| dc.description.abstract | Integrinių grandynų ir puslaidininkių prietaisų technologinių kaukių geometrijos keitimasis ėsdinimo procesų metu buvo modeliuojamas programa, sukurta MATLAB 6.5 pagrindu. Pradinė kaukės konfigūracija, jos ėsdinimo selektyvumas ir trukmė turi įtakos geometrijos evoliucijai ir gaunamų mikro- ir nanostruktūrų matmenims. Gauti rezultatai leidžia analizuoti ir projektuoti naujus technologinius procesus ir /arba integrinių grandynų komponentų topologijas. | lit |
| dc.format.extent | p. 56-60 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | lit | |
| dc.title | Kaukių geometrijos evoliucija ėsdinimo procesuose | |
| dc.type | Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed source | |
| dc.type.pubtype | S4 - Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dcterms.sourcetitle | Elektronika ir elektrotechnika | |
| dc.description.issue | Nr. 1(43) | |
| dc.publisher.name | Technologija | |
| dc.publisher.city | Kaunas | |
| dc.identifier.elaba | 3623207 | |
