Kaukių geometrijos evoliucija ėsdinimo procesuose
Abstract
Integrinių grandynų ir puslaidininkių prietaisų technologinių kaukių geometrijos keitimasis ėsdinimo procesų metu buvo modeliuojamas programa, sukurta MATLAB 6.5 pagrindu. Pradinė kaukės konfigūracija, jos ėsdinimo selektyvumas ir trukmė turi įtakos geometrijos evoliucijai ir gaunamų mikro- ir nanostruktūrų matmenims. Gauti rezultatai leidžia analizuoti ir projektuoti naujus technologinius procesus ir /arba integrinių grandynų komponentų topologijas.