| dc.contributor.author | Navickas, Romualdas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T19:17:39Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T19:17:39Z | |
| dc.date.issued | 2004 | |
| dc.identifier.issn | 1811-4512 | |
| dc.identifier.other | (BIS)VGT02-000009302 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/137537 | |
| dc.description.abstract | В самосовмещающихся технологиях изготовления интегральных схем, биомедицинских и других микросистем геометрия микро- и наноструктур часто изменяется процессами поперечного травления. Для моделирования геометрии микроструктур применена новая компютерная моделб-программа SLEM, основная на програмном пакете МАТLAB 6.5. [...]. | lit |
| dc.format.extent | p. 108-111 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | rus | |
| dc.title | Моделирование эволюции микроструктур в процессах поперечного травления | |
| dc.type | Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed source | |
| dc.type.pubtype | S4 - Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dcterms.sourcetitle | Электроника и связь : научно-технический журнал | |
| dc.description.issue | т. 9, с. 108-111 | |
| dc.description.volume | № 21 | |
| dc.publisher.name | КПI | |
| dc.publisher.city | Киев | |
| dc.identifier.elaba | 3685515 | |
