Моделирование эволюции микроструктур в процессах поперечного травления
Abstract
В самосовмещающихся технологиях изготовления интегральных схем, биомедицинских и других микросистем геометрия микро- и наноструктур часто изменяется процессами поперечного травления. Для моделирования геометрии микроструктур применена новая компютерная моделб-программа SLEM, основная на програмном пакете МАТLAB 6.5. [...].