| dc.contributor.author | Navickas, Romualdas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T19:23:57Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T19:23:57Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.identifier.issn | 1811-4512 | |
| dc.identifier.other | (BIS)VGT02-000010503 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/138962 | |
| dc.description.abstract | The models is created and implemented for simulation of the evolution geometry micro- and nanostructures in the lateral etching processes for self-alignment technologies manufacture of semiconductor devices, integrated circuits (IC), micro- and nanosystems (MEMS/NEMS) on the basis of a personal computer with the processor INTEL PENTIUM 4 and MATLAB software [...]. | eng |
| dc.description.abstract | В самосовмещающихся технологиях изготовления полупроводниковых приборов, интегральных схем (ИС), микро- и наносистем (МЭМС/НЭМС) для моделирования эволюции геометрии микро- и наноструктур в процессах самоформирования поперечного травления разработаны и применены компьютерные модели-программы, основанные на програмном пакете MATLAB. Результаты расчетов двумерного моделирования процессов самоформирования поперечного травления для разных начальных конфигураций микро- и наноструктур масок, скоростей и селективностей травления и толщин нижележащего поперечного травящегося слоя и экспериментальных исследований эволюции микроструктур из аморфных и поликристаллических пленок потвердили теоретические предложения моделей. | lit |
| dc.format.extent | p. 66-71 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | rus | |
| dc.title | Эволюция конфигураций самоформирующихся наноструктур | |
| dc.type | Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed source | |
| dc.type.pubtype | S4 - Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.contributor.faculty | Elektronikos fakultetas / Faculty of Electronics | |
| dc.subject.researchfield | T 001 - Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering | |
| dcterms.sourcetitle | Электроника и связь : научно-технический журнал. "Проблемы электроники" | |
| dc.description.issue | ч. 1 | |
| dc.publisher.name | КПI | |
| dc.publisher.city | Киев | |
| dc.identifier.elaba | 3705201 | |
