Prašviesinančios ir atspindinčios dangos iš viensluoksnio ir daugiasluoksnio akytojo silicio tyrimai

Abstract

Darbe atlikta daugiasluoksnių akytojo silicio prašviesinančių ir atspindinčių sluoksnių λ=800nm bangos ilgiui gamyba ir atspindžio spektro matavimai. Gautas Rmin=5% trijų sluoksnių Ai stuktūros pašviesinimas ir keturių sluoksnių atspindys R=35% pasirinktam bangos ilgiui.

Optical reflection of porous silicon layers have been measured in the visible wavelength spectral range. Three brighten up layers of porous silicon structure were showed reflect of Rmin=5% and distributed reflection mirror from four porous silicon layers were showed- 35% of the inident light at wavelength 800nm.