| dc.contributor.author | Suzanovičienė, Rasa | |
| dc.contributor.author | Tamaševičius, Remigijus | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T20:22:33Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T20:22:33Z | |
| dc.date.issued | 2004 | |
| dc.identifier.other | (BIS)LBT02-000012694 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/149219 | |
| dc.description.abstract | Darbe buvo tiriami SiO2 porėtieji sluoksniai ant Si padėklų, naudojant nul- elipsometrinę tyrimo metodiką. SiO2 patogu naudoti sluoksnius, kadangi tai yra termiškai stabili, mechaniškai tvirta medžiaga, gerai žinomos SiO2 optinės charakteristikos bei porėtuosius sluoksnius galima panaudoti kitų medžiagų interkaliacijai. | lit |
| dc.format.extent | P. 163-167 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | lit | |
| dc.title | Porėtųjų SiO2 sluoksnių ant Si nul-elipsometrija | |
| dc.type | Straipsnis nerecenzuotame konferencijos darbų leidinyje / Paper in a non peer-reviewed conference publication | |
| dc.type.pubtype | P2 - Straipsnis nerecenzuotame konferencijos darbų leidinyje / Article in an un-reviewed conference proceedings | |
| dc.contributor.institution | Puslaidininkių fizikos institutas Vilniaus universitetas | |
| dc.contributor.institution | Puslaidininkių fizikos institutas Vilniaus Gedimino technikos universitetas | |
| dc.subject.researchfield | N 002 - Fizika / Physics | |
| dc.subject.lt | Porėtieji SiO2 sluoksniai | |
| dc.subject.lt | Zolis-gelis Technologija | |
| dc.subject.lt | Nul-elipsometrija | |
| dc.subject.en | Porous SiO2 films | |
| dc.subject.en | Sol-gel technology | |
| dc.subject.en | Ellipsometric measurements | |
| dc.publisher.name | Technika | |
| dc.publisher.city | Vilnius | |
| dc.identifier.doi | VGT02-000008002 | |
| dc.identifier.elaba | 5441609 | |
