Atominių jėgų mikroskopo jutiklio mechaninės struktūros analizė
Santrauka
Atominės jėgos mikroskopija (AJM) – metodas, leidžiantis gauti ypač didelės skiriamosios gebos tiriamojo bandinio paviršiaus vaizdą. Straipsnyje nagrinėjamos problemos, susijusios su atominių jėgų mikroskopo jutiklio mechaninės struktūros modeliavimu. Remiantis mokslininkų atliktais darbais aprašomi dažniausiai taikomi modeliavimo metodai, pateikiamos pagrindinės lygtys, nagrinėjama įvairių veiksnių įtaka sistemos dinaminėms charakteristikoms, aptariami atliktų tyrimų rezultatai. Atomic Force Microscopy (AFM) is a method that allows obtaining an image of the surface of the sample in high resolution. This article investigates the problems associated with modeling a mechanical structure of a microscope sensor of atomic force. The paper refers to the previous scientists’ works and describes most frequently used methods of modeling, basic equations and a variety of factors that have an influence on the dynamics of the system. Also, the obtained results of earlier works are discussed.