Dvipolių puslaidininkinių integrinių schemų konstravimas
Abstract
Leidinys skirtas radioelektronikos specialybės studentams, magistrams o taip pat specialistams, besidomintiems puslaidininkinių mikroschemų konstravimo ir topologijos sudarymo klausimais. Leidinyje pateiktas dvipolių tranzistorių, kondensatorių ir rezistorių elektrinių parametrų ir topologijos geometrinių matmenų skaičiavimas. Aprašomi kristalo topologijos architektūros projektavimo būdai ir etapai. Pateikti dvipolių IS gamybos technologiniai maršrutai, fotolitografijos ir difuzijos procesų apribojimai elementų geometrijai.