Research of a flexure based micropositioning stages

Abstract

Disertacijoje pagrindinis dėmesys skiriamas kampų komparatoriaus kampo keitiklių rastriniu bei kodinių skalių mikropozicionavimo metodikos kurimui ir mikropozicionavimo sistemų, sukurtų taikant pasiūlytą metodiką, tikslumo parametrų bei dinaminių savybių teoriniams ir eksperimentiniams tyrimams.[...].