Atominių jėgų mikroskopo jutiklio mechaninės struktūros modeliavimas ir dinaminių charakteristikų tyrimas
Santrauka
Vis daugėjant mokslinių tyrimų, kuriems atlikti reikalingas atominių jėgų mikroskopas, išlieka aktualus klausimas kaip padidinti šio įrenginio darbo greitį bei kaip parinkti skenavimo režimus, dirbant su skirtingomis medžiagomis. Disertacijoje pagrindinis dėmesys skirtas atominių jėgų mikroskopo jutiklio mechaninės struktūros kaip dinaminės sistemos tyrimui ir jos charakteristikų valdymui. With the growing number of researches, which require AFM, the questions – how to increase the speed of this device and how to select scanning parameters for various ma-terials remain relevant. The dissertation focuses on the research of the mechanical structure of the atomic force microscope and on the control of its characteristics.