Atominių jėgų mikroskopijos artefaktų šalinimo metodas, taikant Matlab Simulink

Abstract

Atliekant tyrimus atominių jėgų mikroskopų, yra gaunami vaizdo artefaktai, kurių priežastys yra daugybė adatėlės ir matuojamo paviršiaus parametrų, jų savybių ir tų savybių tarpusavio sąveikos. Atominių jėgų mikroskopo (AJM) vaizdas visuomet yra adatėlės ir paviršiaus sąveikos rezultatas; norint atskirti (su pakankamu patikrinimu) įvairius vaizdo defektus nuo naudingos informacijos, reikia giliai pažinti tiek AJM veikimo principus, tiek galimus defektų (artefaktų) šaltinius. Darbe nagrinėjama AJM valdymo sistema, siekiant pagerinti juo gaunamo topografinio vaizdo kokybę. Sudarytas AJM sistemos modelis, iš kurio gaunamos vaizdo kokybės priklausomybės nuo matuojamo pavyzdžio medžiagos, skenavimo greičio ir adatėlės nusidėvėjimo.

The artifacts, obtained by atomic force microscope, are caused by a lot of probe and surface properties. AFM image is always the result of probe and surface interaction; to distinguish various image defects from useful information, deep knowledge of both AFM operating principles and potential artifacts sources is needed. The paper presents the method, which could be used for improving topographic image quality.