Dujoms jautrios SNO plėvelės formavimosi ir savybių kitimo tyrimas SZM metodu

Abstract

Tiriami ploni (1-40 mm storio) dujoms jautrūs SnO sluoksniai užauginti magnetroninio dulkinimo metodu. Paviršiaus tyrimams naudojami skenuojančio zondo mikroskopijos (SZM) metodai. Nagrinėjamos SnO plėvelės formavimosi ypatybės, dujų jutiklio elektrinių parametrų priklausomybė nuo paviršiaus topografijos, voltamperinės sluoksnių charakteristikos tam tikruose paviršiaus taškuose.

The study deals with gas sensors based on thin (up to 40 nm) tin oxide layers grown by magnetron scattering. Scanning probe microscope (SPM) is used for the urface investigation. We discussed the formation of SnO layer layer, dependence of the gas sensor on the surface topography, I-V characteristics in special points on the surface.