| dc.contributor.author | Bukauskas, Virginijus | |
| dc.contributor.author | Šetkus, Arūnas | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-18T20:28:21Z | |
| dc.date.available | 2023-09-18T20:28:21Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.other | (BIS)LBT02-000027820 | |
| dc.identifier.uri | https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/150010 | |
| dc.description.abstract | Tiriami ploni (1-40 mm storio) dujoms jautrūs SnO sluoksniai užauginti magnetroninio dulkinimo metodu. Paviršiaus tyrimams naudojami skenuojančio zondo mikroskopijos (SZM) metodai. Nagrinėjamos SnO plėvelės formavimosi ypatybės, dujų jutiklio elektrinių parametrų priklausomybė nuo paviršiaus topografijos, voltamperinės sluoksnių charakteristikos tam tikruose paviršiaus taškuose. | lit |
| dc.description.abstract | The study deals with gas sensors based on thin (up to 40 nm) tin oxide layers grown by magnetron scattering. Scanning probe microscope (SPM) is used for the urface investigation. We discussed the formation of SnO layer layer, dependence of the gas sensor on the surface topography, I-V characteristics in special points on the surface. | eng |
| dc.format.extent | p. 126-132 | |
| dc.format.medium | tekstas / txt | |
| dc.language.iso | lit | |
| dc.title | Dujoms jautrios SNO plėvelės formavimosi ir savybių kitimo tyrimas SZM metodu | |
| dc.title.alternative | Investigation of gas sensitive SnO layer forma tion and change of properties by SPM | |
| dc.type | Straipsnis nerecenzuotame konferencijos darbų leidinyje / Paper in a non peer-reviewed conference publication | |
| dcterms.references | 4 | |
| dc.type.pubtype | P2 - Straipsnis nerecenzuotame konferencijos darbų leidinyje / Article in an un-reviewed conference proceedings | |
| dc.contributor.institution | Puslaidininkių fizikos institutas | |
| dc.contributor.institution | Vilniaus Gedimino technikos universitetas Puslaidininkių fizikos institutas | |
| dc.contributor.faculty | Fundamentinių mokslų fakultetas / Faculty of Fundamental Sciences | |
| dc.subject.researchfield | T 008 - Medžiagų inžinerija / Material engineering | |
| dc.subject.researchfield | N 002 - Fizika / Physics | |
| dc.subject.lt | Dujoms jautrios plėvelės | |
| dc.subject.lt | SNO | |
| dc.subject.lt | Skenuojančio zondo mikroskopas (SZM) | |
| dc.subject.en | Gas sensitive layers | |
| dc.subject.en | SnO | |
| dc.subject.en | Scanning probe microscope (SPM) | |
| dcterms.sourcetitle | Bioinžinerija ir bioinformatika (2007 m. balandžio 5 d.) ; Fizika ir fizinė kompiuterija (2007 m. balandžio 6 d.) : 10-osios Lietuvos jaunųjų mokslininkų konferencijos "Mokslas - Lietuvos ateitis" medžiaga | |
| dc.publisher.name | Technika | |
| dc.publisher.city | Vilnius | |
| dc.identifier.doi | VGT02-000014793 | |
| dc.identifier.elaba | 5755128 | |
