Akytojo silicio sluoksnio charakterizavimas poliarizacinės elipsometrijos būdu

Thumbnail
Date
2005
Author
Samuolienė, Neringa
Zagadskij, Viktor
Tamaševičius, Remigijus
Galickas, Aleksandras
Šatkovskis, Eugenijus
Metadata
Show full item record
Issue date (year)
2005
URI
https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/141104
Collections