Akytojo silicio sluoksnio charakterizavimas poliarizacinės elipsometrijos būdu

Thumbnail
Data
2005
Autorius
Samuolienė, Neringa
Zagadskij, Viktor
Tamaševičius, Remigijus
Galickas, Aleksandras
Šatkovskis, Eugenijus
Metaduomenys
Rodyti detalų aprašą
Paskelbimo data (metai)
2005
URI
https://etalpykla.vilniustech.lt/handle/123456789/141104
Kolekcijos